TY  - JOUR 
T1  - Modelagem dos processos químicos em plasmas de misturas gasosas usadas na corrosão de silício. Parte 2: SF6 / O2
JO  - Química Nova
A1  - Bauerfeldt, G. F.
A1  - Arbilla, G.
SN  - 0100-4042
UL  - 10.1590/S0100-40421998000100006
VL  - 21 
Y1  - 1998
PB  - Brasil 
ER  -