Neste trabalho, filmes finos ferroelétricos de PZT preparados pelo método dos precursores óxidos, foram depositados sobre substratos de Pt/Si. Os filmes obtidos apresentaram uma espessura média de 0,5 mm. Caracterizações dielétricas e ferroelétricas foram realizadas nesses filmes. O valor medido da constante dielétrica dos filmes foi de 455. A ferroeletricidade foi confirmada por características de Capacitância-Voltagem (C-V) e ciclos de histerese P-E. A polarização remanescente para os filmes apresentou um valor em torno de 5,0 µC/cm2 e um campo coercitivo de 88,8 kV/cm.
Filmes finos; PZT; ferroelétrico
