Resumo
A condutividade elétrica de filme fino de tantalato de lítio sobre substrato de silício foi estudada. A estrutura de filme foi preparada por pulverização por magnétron RF. Em geral as características de corrente-tensão foram assimétricas e similares às de um diodo. As características de corrente-tensão tiveram várias seções associadas a vários mecanismos de transporte de portadores de corrente. O principal mecanismo de condutividade foi relacionado à corrente limitada por carga espacial. As características de corrente-tensão mostraram que havia incompatibilidade entre as conduções avante e a ré. Uma das razões para esse comportamento é um acúmulo de carga espacial devido aos portadores de carga que foram injetados no eletrodo e não relaxaram.
Palavras-chave:
tantalato de lítio; condutividade elétrica; filme fino
