Análise comparativa das propriedades elétricas de camadas e multicamadas de VO_x depositadas por pulverização catódica para aplicação em bolômetros

Comparative analysis of electrical properties of single and multilayers of VO_x deposited by RF magnetron sputtering for bolometers application

RESUMO

Filmes finos de VO_X (camada e multicamadas) foram fabricados por pulverização catódica com rádiofrequência assistida por campo magnético constante para aplicação em detectores de radiação infravermelha do tipo bolômetro. As amostras foram fabricadas sem quebra de vácuo a partir de três alvos: V₂O₃; VO₂ e V₂O₅. Um sistema de pulverização catódica com três catodos foi construído para a realização deste trabalho. Os resultados mostraram que ambas as configurações, camadas e multicamadas, apresentaram TCR semelhantes, da ordem de 2 %/K, e resistência de folha inferior a 20 kΩ/quad, sendo ambas recomendadas para emprego em bolômetros.

Palavras-chave
VO_X; pulverização catódica; bolômetros